微纳金属3d打印可以打印金属吗技术应用:AFM探针

美国国家标准技术研究院(NIST)的研究人员开发了一种3d打印可以打印金属吗凝胶和软材料的新方法该研究团队没有像大多数现代软材料3d打印可以打印金属吗机那样使用紫外激光(UV)或可见光来引发其凝胶,而是利用电子和X射线束来固化一系列光敏树脂事实证明,这些短波长的激光比常规光束更聚焦并苴能够制造具有高水平结构细节的凝胶,尺寸小至100纳米(nm)NIST科学家最新开发的技术可以创建复杂的微观结构,例如柔性电极生物传感器或软微型机器人。

NIST团队最终使用他们的技术生产了微观的细胞界面结构(如图)图片来自ACS Nano期刊。

光固化聚合物的不同方法

光固化聚合粅开发方面的最新创新大大改善了软材料3d打印可以打印金属吗所能达到的速度和分辨率这些新增强的配方使光学光刻和立体光刻(SLA)方法可用于创建越来越小的物体,其中一些物体的波长为100nm

相比之下,传统的软制造方法(例如电子束光刻(EBL))无法跟上步伐需要紧密聚焦的电子束才能有效发挥作用。尽管EBL通常用于聚合物和凝胶膜的构图但它只能在激光和材料之间进行高水平的交互作用,从而限制了咜可以生产的物体的复杂性

聚焦电子束诱导沉积(3D-FEBID)代表了一种更具创新性的3d打印可以打印金属吗方法,它使用电子束来分离含气态含金属前体的表面实验技术能够以超高分辨率创建对象,但代价是比传统方法要慢得多同样,在深X射线光刻技术的开发中也取得了重大進展该技术使用聚焦于区域板的光束精确制造高纵横比的微结构。先进的生产工艺可减少辐射损伤这使其可以用于医疗应用,例如带電系统内的聚合反应

不幸的是,面向X射线的方法也有缺点目前,X射线束发出的短波长只能在真空中工作因此每个腔室中的液体可能會蒸发而不形成凝胶。为了克服这一限制研究小组得出了理论,即使用薄的电子透明屏障可以防止液体蒸发,同时允许电子束穿透凝膠

研究人员能够调节电子束的强度,以创建具有预定参数的物体图片来自ACS Nano期刊。

NIST团队基于凝胶的3d打印可以打印金属吗方法

为了有效地將聚焦的电子束和软X射线束传递到其液体溶液中研究人员设计了一组封闭的流体室。这些设备配备有30–50 nm的氮化硅(SiN)薄膜可将液体与顯微镜的真空隔离。在测试过程中将20%w / v的聚(乙二醇)二丙烯酸酯(PEGDA)水溶液和9个相同的膜窗填充到腔室中。通过仅改变光束的一个参數(例如光束的能量强度,步长或停留时间)同时保持其他参数不变,屏障被用于创建具有一系列不同特征集的零件

冲洗掉未固化嘚溶液后,研究小组使用了原子力显微镜(AFM)来检查其交联结构通过比较处于水合和干燥状态的样品物体的高度,研究人员最终能够始終如一地打印它们并估算基于凝胶的物体的尺寸而无需直接对其进行测量。而且该方法被证明能够生产100-150nm宽的结构,从而使研究人员推測该方法可用于创建计算机与大脑的接口设备为了测试其新技术与活细胞的连接能力,研究小组进行了进一步的实验将SiN膜细胞和PEGDA聚合粅暴露于电子束中。

尽管一些细胞死亡但大多数细胞已成功整合到电极中。结果研究小组得出结论,他们的方法有潜力用于创建尺寸朂小为50nm的未来主义微观可植入设备首席研究员安德烈·科尔马科夫(Andrei Kolmakov)总结说:“我们正在将新工具(在液体中工作的电子束和X射线)引入3d打印可以打印金属吗。”

考虑到纳米级3d打印可以打印金属吗物体的潜在用途范围科学家近年来寻求优化技术并生产出越来越小的物體也就不足为奇了。代顿大学的研究人员开发了一种增强的具有成本效益的3d打印可以打印金属吗纳米级结构方法。事实证明光热机械(OTM)纳米印刷技术能够以小于100nm的规模进行印刷。

弗劳恩霍夫微工程与微系统研究所(IMM)的科学家们正在开发一种使用多光子光刻技术来创建纳米级金属3d打印可以打印金属吗结构的新颖工艺通过该项目,团队的目标是制造具有比使用直接能量沉积(DED)工艺生产的零件更小的特征的零件

加州理工学院(Caltech)的一个小组已使用两光子光刻方法对不大于100nm的3d打印可以打印金属吗金属结构进行了处理。据报道该技术能够制造比任何其他金属制造工艺“小一个数量级”的金属特征。

【摘要】:针对半导体器件微结構侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的變化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描結果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.


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