磁流体密封传动装置是在磁性流体技术上发展起来的密封技术。磁流体密封技术可用于航空航天、工业机械、军事科技、光纤光电、电子电器、医疗机械、冶金机械、石油化工等领域广泛应用于单晶炉、镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、刻蚀机、化学气相沉积设备、电气开关等真空传动的密封部位。

磁流体密封技术的工作原理 当磁性流体注入到高性能的永久磁铁、导磁性能良好的磁极及主軸所构成的磁回路中时由于磁极齿尖处磁力场最强，磁流体集中处于齿尖处在密封间隙内形成一系列液体“O”型密封环，将密封间隙充满而达到密封的效果

　　气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计加工和测试，以隔膜阀调压阀，压力传感器过滤器，MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节纯度过滤，流量控制等功能目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System)，即IGS气路盘这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。

　　随着半导体领域的发展对零部件小型囮的提出了更高的要求，传统的VCR气路盘难以满足要求IGS型气路盘应运而生，它具有气体直方向运输体积小，便于安装维护等特点是未來气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积，七星流量计的IGS气路盘具有高密封性高精度，集成度高等优点并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性