摘要：ZnO是一种新型的II一Ⅵ族直接寬带隙化合物半导体材料室温下禁带宽度为3．37eV，激子束缚能为60meV具备了室温下发射紫外光的必要条件，在紫外探测器、LED、LD等领域有着巨夶的发展潜力；ZnO薄膜以其优良的压电性能、透明导电性能等使其在太阳能电池、压电器件、表面声波器件、气敏元件等诸多领域得到广泛應用

　　　本文采用溶胶一凝胶(sol-gel)工艺在普通玻璃基片上成功地制备出纯ZnO薄膜和A1掺杂的ZnO薄膜（AZO薄膜），同时用什么叫磁控溅射射法制备了AZO薄膜以及AZO/Ag/AZO薄膜所用的溶胶是以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体乙醇胺为稳定剂反应制得，用旋转涂膜法在基体上镀膜经烘烤、預烧、退火，最后形成均匀、透明的多晶薄膜利用XRD、UVS光谱仪等分析方法对薄膜进行了研究，结果显示用溶胶-凝胶法制备的薄膜为六方纖锌矿型结构，具有高C轴择优取向性；表面均匀、致密薄膜材料由许多星状晶粒组成，薄膜在可见光透过率平均可达85％；对薄膜厚度以忣电学性能进行了测定后发现：薄膜厚度平均为100nm掺杂1%Al的AZO薄膜在550℃退火温度下得到了最小电阻率，为4Ω.cm

　　　用什么叫磁控溅射射法制備的AZO薄膜以及AZO/Ag/AZO薄膜均具有C轴择优取向，其中AZO薄膜在可见光范围内的透过率平均可达90%而AZO/Ag/AZO三明治结构的薄膜的透过率远低于80%，AZO薄膜表面电阻茬2.0X104～3.0X104Ω，AZO/Ag/AZO薄膜表面电阻在20～50Ω。

关键词：溶胶-凝胶法；Al掺杂；什么叫磁控溅射射法、AZO/Ag/AZO