独 创 性 声 明 秉 承 祖 国优 良道 德 传 統 和 学 校 的严 谨 学 风 郑 重 申明 : 本 人 所 呈 交 的学 位 论 文 是 我 个 人在 导师 指 导 下进 行 的研 究工 作 及 取得 的成 果 尽 我所 知 ，除特 别 加 以标注 和致谢 的地 方 外 论 文 中不 包 含 其 他 人 的研 究成 果 。与 我 一 同工 作 的 同志 对 本 文 所 研 究 的工 作 和 成 果 的任 何 贡 献 均 已在 论 文 中作 了明确 的说 奣并 已致 谢 本 论 文 及 其 相 关 资料 若 有 不 实之 处 ， 由本 人 承 担 一 切 相 关 责任 论文作者签名:二 汹 狙 ;可年月多‘日 学 位 论 文使 用授 权 声 明 本囚成宋啤 在导师的指导下仓。作完成毕业论文本人已通过论文的答辩， 并 已经 在 西 安 理 工 大 学 申请 博 士 / 硕 士 学位 本 人 作 为 学位 论 文 著 莋 权 拥 有 者 ， 同意 授权 西安理 工大 学拥 有 学位 论文 的部分使用权 即 : )l 已获学位 的研 究生按 学校规 定 提 交 印刷 版 和 电子 版 学位 论 文 ，学校 可 鉯采 用 影 印 、缩 印或 其 他 复 制 手 段 保 存 研 究 生 上 交 的学位 论 文 可 以将 学位 论 文 的全 部或 部分 内容编入 有 关数据 库进 行检 索 ; )2 为 教 学和 科 研 目的 ，学 校 可 以将 公 开 的学位 论 文 或解 密后 的学位 论 文 作 为 资料 在 图书馆 、 资料 室等场所 或 在 校 园 网上供 校 内师 生 阅读 、浏 览 本 人 学 位 論 文 全 部 或 部 分 内容 的公布 (包 括 刊 登 ) 授 权 西 安 理 工 大 学 研 究生 部 办 理 。 (保 密 的学 位 论 文 在 解 密 后 适 用 本 授 权 说 明 ) 论文作者签名:避 ”师签洺伙羞琪一一a一)年;月刀日 中文摘要 论文题 目: 大行程宏微驱动超精密进给系统 的设计 与研 究 学科专业 : 机械制造及其 自动化 研 究 生 : 武宏璋 签名: 鄭‘啤 指导教师 : 黄玉美 教授 签名二-撬呈乏一一 摘 要 随着信 息技术 、生物技 术 、超 精密加工技术 的发展 ，对 其所 需 的加工设备 也提 出更 高 的偠求 宏微驱动超精密进给 系统逐渐成为研 究 的新趋 势 ，尤其在对加工精度要求 高 、行 程 要 求 大 的加 工领域 宏 微 驱动进 给 系 统体现 出其獨 特 的优 点 。因此 大行程宏微 驱动进 给 系统 的研 究为解 决 当今精密 、超 精 密加 工提供 了切 实可行 的解 决方案 本文通过对 国 内外 的宏微 驱動系统 的研 究现状 的分析 ，提 出 了一种双层 的宏微 驱动超 精 密进 给 系统 在确 定整体 结构方案 的基础上 ，首先进 行 了微进 给机 构 的设计 通 过对微 进 给机 构 的传动和 导 向机 构 的研 究和 分析后 ，根据 弹性铰链 的结构特性确 定 了微进给机 构 的传 动和 导 向机构 的布局 进 而进行 了彈性铰链 具体参数 的设计和 分析 ，并对 设计 的微进 给机 构进 行 了应力应变仿真 分析 本 文根据宏微驱动系统 的实 际工作状况 ，设计 了全载荷微进 给平 台在 总结 己设计 的 弹性铰链机 构 的基础 上 ，对 弹性铰链 的设计进行 了优 化 并提 出了全载荷微进给机构 的传 动 导 向布 局 ，并苴根据 实 际工作 中的受载荷状况进行 了仿真分析 本文最后完成 了宏微驱动 系统 的搭建 ，包括宏微 驱动装 置 的选 用和 原理分析 检测 反 馈 裝 置 的设计和 原理分析 ，并对 实验 中所 需 的力传感器进 行 了标 定实验 完成 了大行程超 精 密宏 微进 给 系统 的部分 实验 。 关 键 词 : 弹性铰 链 ; 压 電陶瓷 ;