本发明属于光学测量设备技术领域尤其是涉及一种椭圆偏振测厚仪。

椭圆偏振测厚仪利用光的偏振特性即，一束椭圆偏振的光在镀膜的上下表面两次反射它的偏振狀态会转过一定的角度，此转过角度的具体与镀膜和衬底的折射率以及镀膜厚度相关，由此特性可在已知衬底折射率的情况下得出所测量镀膜的厚度即折射率消光法椭圆偏振方式对应不同样品制造出一束特定的椭圆偏振光使光束在样品上反射后形成如何得到线偏振光光，检测此椭圆偏振光的长轴角度以及形成的如何得到线偏振光光的偏振方向根据这两个角度及已知的衬底的折射率即可得出测量镀膜的厚度及折射率。

目前市面上出现的椭圆偏振测厚仪，装置复杂不方便携带并且在进行测量时会浪费大量的时间，测量的结果可靠性低产生的实验误差较大。因此亟需设计一种能够解决上述技术问题的椭圆偏振测厚仪。

本发明的目的是提供一种结构简单、操作简单、實验时间短、实验测量误差小、的椭圆偏振测厚仪

本发明的技术方案是：一种椭圆偏振测厚仪，包括实验底座所述实验底座上设有转軸，所述转轴的上端连接工作台所述工作台上依次设有激光器、起偏器、样品台、检偏器、光电探测器，所述激光器的前端设有准直镜所述起偏器的前端设有分束器，所述检偏器的下方设有光电倍增管所述实验底座上设有开关和USB外接口。

进一步述激光器发出的光源設置在准直镜的焦点处。

进一步所述光电探测器内设有A/D转化模块。

进一步所述激光器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。

进一步所述咣电倍增管、光电探测器通过电线与实验底座的USB外接口连接。

进一步所述实验底座的底部设有支撑腿。

本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案光电倍增管有效增强微弱光信号转化成电信号，使得光电探测器可以准确的读取信号数据避免数据读取的误差，另外准直镜校准光束的准直性，增强入射光束准确度；并且通过A/D转化模块可以快速的得出测得的模拟信号转化为数字信号传输进行數据处理得到准确的测量结果。

图1是本发明的结构示意图

1、实验底座 2、转轴 3、工作台

4、激光器 5、起偏器 6、样品台

7、检偏器 8、光电探测器 9、准直镜

10、分束器 11、光电倍增管 12、开关

下面结合附图对本发明做详细说明。

如图1所示本发明一种椭圆偏振测厚仪，包括实验底座1所述实验底座1上设有转轴2，所述转轴2的上端连接工作台3所述工作台3上依次设有激光器4、起偏器5、样品台6、检偏器7、光电探测器8，所述激光器4的前端设有准直镜9所述起偏器5的前端设有分束器10，所述检偏器7的下方设有光电倍增管11所述实验底座1上设有开关12和USB外接口13。

述激光器4發出的光源设置在准直镜9的焦点处

所述光电探测器8内设有A/D转化模块。

所述激光器4采用带布儒斯特窗的氦氖激光器

所述光电倍增管11、光電探测器8通过电线与实验底座1的USB外接口13连接。

所述实验底座1的底部设有支撑腿14

本实例的工作过程：在进行实验中，激光器4发出的光束先通过准直镜9进行光束的准直校准光束经过起偏器5校准经分束器10，再穿过检偏器7达到光电探测器8内检偏器7上带有光电倍增管11，有效增强微弱光信号转化成电信号在光电探测器8上读取电信号，光电探测器8中的A/D转化模块将数据处理后可通过USB外接口13将信号反馈到外接电脑上，外接电脑再处理后续的数据

光电倍增管11有效增强微弱光信号转化成电信号，使得光电探测器8可以准确的读取信号数据避免数据读取嘚误差，另外准直镜9校准光束的准直性，增强入射光束准确度；并且通过A/D转化模块可以快速的得出测得的模拟信号转化为数字信号传输進行数据处理得到准确的测量结果。

以上对本发明的一个实施例进行了详细说明但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用於限定本发明的实施范围凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内