怎样测4-10微发的某电容测微仪

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智能某电容测微仪测微仪系统关鍵技术的研究

: 超精密某电容测微仪测微仪是一种非接触式精确测量微小相对位移、微振动和微小尺寸的仪器具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单等一系列优点,在航空、航天、工业生产加工、超精密测量等领域中具有广泛应用 随着科學技术和工业的飞速发展,对精密测量仪器的分辨力、精度和稳定性要求也越来越高JDC系列某电容测微仪测微技术作为非接触式测量的手段,由于采用...  

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