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芯动拥有1000平米超净室其中光刻区、键合区共150平米,净化等级为十级刻蚀区、扩散区、薄膜区共850平米,净化等级为百级是目湔国内少数百级、十级洁净室,在高端MEMS传感器制造厂房中属先进水平拥有完整的MEMS工艺设计、加工平台,可为国内外同行提供微纳器件研發、工艺代工、工艺测试等技术服务
芯动科技目前已投入1亿多用于产线的建设,计划联合资本方在未来2-3年投入5亿元人民币继续完善制造基地的相关设备设施该基地目前建筑面积为3000平方米,是中国最先进的MEMS器件加工平台之一具备芯片制造、封装测试等一系列的能力。
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