哪里有GaNoled激光剥离离设备代理商和牌子

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哪里有GaN激光剥离设备代理商和牌子?
请问大家哪里有GaN或者AlN激光剥离设备代理商或者牌子啊?需要购买一台,有知道联系方式的告诉一下,谢谢大家
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我们公司有代理这方面的资源,您对剥离设备有什么预算或者其他的需求么?可联系邮箱
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是蓝宝石衬底上剥离GaN?
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衬底激光剥离技术(LLO)是20世纪末提出来的,利用紫外激光照射衬底, 熔化缓冲层而实现沉底的剥离,另外新衬底一般采用直接键和的方法。
基于87个网页-
Laser Lift Off
LED芯片技术的发展 板,InGaN/GaN LED常采用Si基板。键合机的重要性能指标是温度、压力的均匀性。
(5)激光剥离技术(Laser Lift Off, LLO)
近几年来,蓝宝石GaN LED的光效有了很大的提升,但由于蓝宝石GaN结构和蓝宝石导热的局限性
基于6个网页-
制备金属光子晶体方法包括:电子束刻蚀结合后续剥离法、激光干涉光刻结合干刻蚀技术等。
The fabrication methods of MPC include electron beam lithography with subsequent evaporation and lift-off, interference lithography with dry-etching technology etc.
$firstVoiceSent
- 来自原声例句
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中镓半导体:专注衬底生长,走向分工专业化
来源:高工LED
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“我坚信同质外延将成为未来的主流,在这之前,公司将以蓝宝石图形化衬底导入市场,目前公司的产品包括GaN衬底、GaN/Al2O3复合衬底、蓝宝石图形化衬底、激光剥离设备”中镓半导体总经理张国义坚信专注引领未来的GaN衬底材料市场。
中镓半导体是国内首家专业以研发、生产氮化镓(GaN)衬底材料的企业,&我坚信同质外延将成为未来的主流,在这之前,公司将以蓝宝石图形化衬底导入市场,目前公司的产品包括GaN衬底、GaN/Al2O3复合衬底、蓝宝石图形化衬底、激光剥离设备,同时我们也在研发新型的GaN衬底材料。&中镓半导体总经理张国义介绍,公司定位于专业的衬底制备企业,坚信专注引领未来的GaN衬底材料市场。
何为同质化外延?为何它将主导未来市场?蓝宝石图形化衬底价格走势如何?带着一系列疑问,高工LED记者走进中镓半导体,与张国义博士进行深入探讨。
同质外延将成为主流
高工LED:中镓半导体是专业生产衬底的公司,所生产的衬底产品包括GaN衬底、GaN/Al2O3复合衬底、图形化蓝宝石衬底,公司是如何确定的技术路线?您如何看待各种衬底产品未来的发展?
张国义:外延包括同质外延和异质外延,同质外延是指在同一种衬底材料生上长同一种外延层,比如硅衬底生长硅、GaN衬底外延生长GaN;而用蓝宝石衬底或者其他衬底生长GaN就是异质外延。现在大家普遍采用的技术是用蓝宝石、碳化硅等衬底生长GaN外延。但从原理来说,最好的技术是同质外延,即用GaN衬底生长GaN外延。目前GaN衬底的主要问题是成本太高,而且镓资源比较有限。
建立中镓半导体是基于对未来发展趋势的考量,我们希望走向同质外延,走向GaN/Al2O3复合衬底。复合衬底表面是GaN,下面是蓝宝石,这样的结构跟GaN衬底生长GaN外延是一样的。复合衬底既减少了镓的用量,又可以满足同质外延的生长要求,我给它起名叫广义的同质外延。
高工LED:在产品的推广上,公司如何布局?
张国义:虽然我们拥有GaN衬底、复合衬底技术,但目前使用客户较少,市场还不够成熟。2012年复合衬底是培育期,还做不到大力推广,技术的转变还需要过渡期。目前市场的趋势是蓝宝石图形化衬底,图形化衬底的发光效率较普通衬底可提高20%-30%,而且可提高内量子效率,改进晶体质量。所以复合衬底成为主流之前,一定是图形衬底(PSS衬底)。我们将蓝宝石图形衬底作为近期作为进入市场的产品。
我们还有一个产品&激光剥离设备,要推广复合衬底,需要将GaN和蓝宝石剥离,蓝宝石重复使用(2-5次)转移到其他衬底,要使用激光剥离设备。国际上激光剥离设备两大类,气体激光器和固体激光器,现在做固体激光器现在只有我们在做,气体激光器的稳定性、效率、损伤等很多方面都不如固体激光器。未来的发展肯定是固体激光器。
高工LED:您讲到未来的发展主流是GaN衬底,但目前使用最多的还是蓝宝石衬底。而且客户有使用习惯,要他改变生产的习惯,还需要时间的过渡。蓝宝石衬底的价格也在不停的下降,GaN衬底要成为市场主流,还需要多长的市场培育期?
张国义:单从衬底角度来讲,复合衬底的成本肯定比蓝宝石衬底高,但复合衬底的优势是显著的。首先,复合衬底可增加产能,蓝宝石生长LED外延结构的过程需要七个小时,复合衬底可大大简化生产工艺,只需不到三个小时,产能可增加一倍。同时也可节省MO源等气体材料。
第二,采用复合衬底,可以制备上下电极结构,不需要刻蚀出n-电极结构,可以有效总结LED的发光区,减少制备工艺过程,增加量产。
第三,LED存在这样一个现象,增加电流LED发光,很快到达一个顶峰,再增加电流,效率就降下来了。蓝宝石衬底的热导率低,热量散不出来,效率肯定会下降。复合衬底可以制备上下电极结构LED,可以采用热导率高的金属衬底材料,电流分布非常均匀,整个发光效率可再提高。
所有这些计算下来,复合衬底的成本反而比用蓝宝石衬底低30%,这不是我自己的看法,国际上早有这样的路线图。2010年是异质外延向同质外延转移的元年。2010年确实出现过这样的苗头,但上升的速度还不够快,还要有一个阶段。依赖于GaN衬底复合衬底技术的发展和客户的技术的提升,配合起来以后未来的趋势肯定是复合衬底。
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&2010 GG-LED.com 高工LED-领先的产业研究与传媒机构&&柔性OLED LLO设备面临挑战?日本LAN Tech开发出室温下非激光剥离设备
日本LANTechnical Service公司宣布,已经开发出作为替代柔性OLED工艺的主要设备之一的LLO(激光剥离)设备的“非激光剥离”设备。因为用于LLO设备的激光源非常昂贵,预计这种新设备的投入使用将大大降低柔性OLED的投资成本。
LANTechnical Service最近开发了非激光剥离设备,并将这项技术引入到韩国和其他外国面板制造商,这些制造商正在生产柔性OLED面板或即将生产柔性OLED面板。
使用LAN Tech的非激光剥离设备从载玻片分离聚酰亚胺薄膜的图片。(图片来源: LAN Tech)
柔性OLED面板使用聚酰亚胺(PI)基材。薄膜型基材是通过将PI树脂涂布在载体玻璃上并通过PI固化设备施加高温来制备形成的。然后通过在该薄膜基底的顶部,蒸镀上RGB(红,绿,蓝)像素,通过前端处理(例如,防止空气和湿气的封装处理)以及用LLO设备照射激光来分离载体玻璃和PI膜。
柔性OLED面板激光剥离工艺原理示意图
如果使用非激光剥离设备,则不再需要通过向PI树脂施加高温来制造PI膜的固化工艺。面板制造商不必制造他们自己的PI薄膜基材,而只需从外部的薄膜制造商购得即可。
如果使用非激光剥离设备代替使用准分子激光器或DPSS(二极管泵浦固态)作为激光源的LLO设备,可以降低生产成本,因为它不再需要从外面进口激光光源。
视频:LAN Tech室温情况下非激光剥离方式技术原理
LANTechnical Service也考虑在载玻片上贴上PI薄膜,而不使用单独的有机粘合剂。它采用了其专利技术,通过在载玻片上施加硅,并在高真空状态下使用离子束将PI膜贴附在载体玻璃上。通过这样做,可以调节粘合强度,并且可以在室温下将PI膜从载体玻璃上分离。
LANTechnical Service投入了大约10年的时间来开发利用硅的技术。尽管正在计划开发替代刚性OLED基板玻璃的技术,但由于柔性OLED市场的大幅增长,该公司已经改变了计划,并决定用它来取代LLO设备。而据CINNOResearch统计,2017年至2021年,柔性OLED面板产能的复合年均增长率超过52%。
全球AMOLED产能扩张趋势
LANTechnical Service成立于1985年,一直致力于提供各种液晶设备,包括PMOLED的封装设备。
该公司表示:“我们通过与全球两三家主要的材料制造商合作,使用PI薄膜进行了性能测试。 “我们正在向全球面板制造商通报我们的技术能力和稳定性,因为这是一种以前没有的新技术。”
视频:LAN Tech剥离方式实例
最近韩国和国外的产业链和大学等研究了将新的激光源应用于LLO设备或不使用激光的技术。
“虽然目前还没有达到商业化水平,但研发部门在简化LLO工艺方面非常积极,例如进口激光光源,并从中长期角度减少维护激光光源的成本和时间。”
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