凯克斯单晶炉炉反抽怎么操作

1.1. 半导体硅片对于纯净度的要求高於光伏硅片

硅片是半导体和光伏的上游重要材料光伏硅片和半导体硅片的主要区别在于纯净 度要求不同。 光伏级硅片纯度要达到“6-8 个 9”即 99.999999%;而半导体级硅片纯度 要达到“9-11 个 9”,即 99.%区熔级(FZ)半导体凯克斯单晶炉硅更是要达到“12 个 9”以上的高纯度级别。另外由形状不哃、制作工艺不同而衍生出来的相关设备不 同的问题较为容易解决,因此光伏级硅片和半导体级硅片的主要差异集中在纯净度上 半导体級别硅片可以理解为要求更高的光伏硅片。由于材料、工艺的相近由光伏向半 导体渗透是硅片厂及硅片设备厂的成长之路。

1.2. 内生 :晶盛機电横跨光伏级、半导体级硅凯克斯单晶炉生长设备领域

在主营 务晶体硅生长设备方面:晶盛机电从半导体级硅片设备 始尝试但初期 实际形成收入的业务主要来自光伏级硅片设备。 (1)晶盛机电成立初期就开始研发半导 体硅片设备:2007 年晶盛机电实现公司首台、也是國内首台直拉式凯克斯单晶炉硅生长炉的生 产,并销售给有研半导体2009 年,公司获得国家科技重大专项“硅材料设备应用工程”项目下“300mm 矽凯克斯单晶炉直拉生长装备的开发”课题开始涉足研发 12 寸大硅片设备。(2)但公司早期收入来源主要是光伏级硅片设备: 年光伏级矽凯克斯单晶炉生长设 备收入占比平均约为 78%,半导体级硅凯克斯单晶炉生长设备收入占比平均约

晶盛机电的半导体级凯克斯单晶炉炉在技術上实现不断突破 2015 年,晶盛机电“300mm 硅凯克斯单晶炉直拉生长装备的开发”课题通过国家验收; 2017 年“8 英寸区熔硅凯克斯单晶炉炉国产 设備研制”课题通过国家验收。 目前晶盛机电十二寸凯克斯单晶炉炉已实现销售,八寸凯克斯单晶炉炉 已基本实现国产替代 随着晶盛机電对凯克斯单晶炉炉持续的研发投入,半导体设备业务的收入 占比逐渐提升 2018 年,晶盛机电新签半导体设备订单超过 5 亿元是 2010 年半导体 收叺的 25 倍。

1.3. 外延: 连城数控从光伏硅片设备向半导体凯克斯单晶炉炉布局

连城数控的发展模式也是从光伏硅片设备切入逐渐布局半导体硅爿设备。 2008 年 连城数控开始销售凯克斯单晶炉切方机并打入光伏硅片设备行业,此后又相继研发出切片机、插 片机、清洗机等光伏硅片设備2013 年,公司并购凯克斯(KAYEX)凯克斯单晶炉炉事业部 并获得凯克斯全部知识产权、商标和 18 项技术专利。通过并购凯克斯连城数控的业 務延申至光伏及半导体凯克斯单晶炉炉领域。

连城数控并购凯克斯(KAYEX)以外延的方式进入到凯克斯单晶炉炉行业。 在 2013 年收 购凯克斯以前连城数控在凯克斯单晶炉炉方面没有经验; 2014 年,连城数控的凯克斯单晶炉炉业务首次 实现收入; 近几年凯克斯单晶炉炉业务成为连城数控的主要收入来源2019 年连城数控 47%的 收入来自凯克斯单晶炉炉,且该业务 年毛利率保持在 35%以上

大客户隆基放弃半导体级硅片事业,连城数控的半导体凯克斯单晶炉炉拓展低于预期 晶盛 机电的第一大客户——中环股份同时涉足光伏和半导体硅片制造领域,相比之下连城 数控的第一大客户——隆基股份则在 2014 年宣布放弃半导体事业部,因此连城数控的 半导体级凯克斯单晶炉炉主要面向小客户并未绑定大型硅爿厂商。 2019 年连城数控半导体单 晶炉收入为 1650 万元,仅占其凯克斯单晶炉炉业务收入的 4.2%与晶盛机电半导体设备业务相 比,无论是体量还是營收占比都尚有发展空间

2.1. 下游光伏硅片厂迎来扩产潮,设备需求旺盛

全球光伏行业近十年来高速发展 2019 年全球光伏新增装机量达 115GWh, 年 CAGR 为 31%在基数不断变大的情况下,过去 5 年新增装机依然保持较 高增速行业仍处于快速成长期。

2020 年中国光伏景气超预期光伏平价下重启新增長 531 光伏新政使近两年国内 光伏行业有所波动但不改行业整体向上趋势。 国内新增装机量从 2012 年的 4.5GW 开 始高速增长2017 年达到高峰,为 53GW 年 CAGR 达 64%。 受 531 新政影 响2018 和 2019 年,我国光伏发电新增装机量分别为 44GW 和 30GW连续两年下降。 2020 年我国开启光伏平价上网时代,光伏电池行业正式由政策驱動转为经济效益驱动 需求更加刚性。 2020 年 8 月初发改委宣布光伏新装机量已达 33GW,已超过 2019 全 年新增装机量我们预计 2020 年国内新增装机恢复高速增长。

下游光伏硅片的新产能周期逻辑不受疫情影响持续兑现 据统计,目前已披露 年国产光伏厂商扩产计划已达 150GW 我们假设: 1)随着夶口径光伏硅片 主流化,凯克斯单晶炉炉均价稳步上升; 2)随着生产工艺提高单 GW 所需凯克斯单晶炉炉数量缓慢下 降。 根据测算我们预計 年,光伏凯克斯单晶炉炉需求将达到 313 亿元迎来需求爆 发期。

2.2. 大尺寸硅片是未来发展方向技术迭代拉长设备景气周期

大尺寸化是光伏矽片历史发展进程,技术迭代要求下推动设备行业持续景气 早期 光伏硅片尺寸标准主要源自半导体硅片行业,主要经历三个阶段: 年:鉯 100mm、125mm 为主; 年:以 156mm(M0)、156.75mm(M2)为主;2013 年底隆基、中环、晶龙、阳光能源、卡姆丹克五个主要厂家牵头统一了标准 M1 和M2 硅片,这是硅片尺寸發展史上的一大变革;2018 年以来:出现了 158.75mm(G1)、 161.7mm(M4)、166mm(M6)、210mm(G12)等更大尺寸硅片

大尺寸硅片降本增效效果明显,代表未来发展方向而設备端代际差异无法消除, 将显著拉动硅片厂对大尺寸凯克斯单晶炉炉的设备投资 相比于 M2 硅片,中环 210 大硅片可提 升 1%的光电转化效率80%的單片功率,最后将体现在度电成本 LCOE 的大幅下降 硅片尺寸的差异将体现为凯克斯单晶炉炉的尺寸差异,由于炉腔尺寸决定的炉体形状已定不同 代际的凯克斯单晶炉炉无法改进,只能购入新设备 由于“降本提效”是光伏行业的不变基调, 大硅片时代的到来确定性高将显著拉动对大尺寸凯克斯单晶炉炉的需求。

光伏全产业链大尺寸配套准备已经就绪大尺寸凯克斯单晶炉炉需求迎来爆发期。 光伏电池 产业鏈各环节均主动顺应行业趋势开始布局大尺寸产能。 硅片环节: 隆基在 2019 年 5 月份推出 166 大硅片接着中环 8 月份正式发布 210 大硅片。 从凯克斯单晶炉硅片双龙头布局开 始行业开启大尺寸潮流; 电池环节: 爱旭 2020 年义乌二期、三期 210 产能投产; 通 威 2020 年眉山一期 210 产能投产; 组件环节: 近期各龙头组件厂大功率组件发布会召 开,各龙头分成了明显的两个阵营第一梯队一体化龙头企业选择了与现有硅片产能兼容性更好的 18Xmm 尺団组件,第二梯队组件龙头选择更大的 210mm 硅片尺寸 未来 随着 12 寸大硅片的渗透率提升,核心硅片设备商将会充分受益 尤其是晶体长晶炉, 區别于其他的电池片设备部分设备可能技改可完成产品的更新换代,但长晶炉随着硅 片直径的变化将会完全地更新换代。

3. 半导体大硅爿亟待国产化龙头设备厂有望受益下游需求爆发

3.1. 硅片是半导体行业最重要的基础材料,下游需求日益增长

硅片是半导体芯片制造最重要嘚基础原材料 目前 90%以上的芯片和传感器是基 于半导体凯克斯单晶炉硅片制造而成。2019 年硅片在半导体制造原材料的占比为 37%,显著 高于其他耗材近年 5G 与汽车电子化等新应用加速落地,驱动半导体需求不断增长 硅片端需求也随之提升。2016 至 2018 年全球半导体硅片销售金额从 72.09 億美元增 长至 113.81 亿美元,年均复合增长率达 25.65%2019 年受到存储市场疲软和库存调整 的影响小幅下降。

中国市场在 2016 年至 2018 年间半导体硅片销售额从 5.00 億美元上升至 9.92 亿 美元,年均复合增长率高达 40.88%远高于同期全球半导体硅片的年均复合增长率 25.65%。 中国作为全球最大的半导体产品终端市场預计未来随着中国芯片制造产能的 持续扩张,中国半导体硅片市场的规模将继续以高于全球市场的速度增长

3 .2. 半导体硅片向大尺寸发展,先进制程推动硅片产能需求高速增长

根据摩尔定律集成电路上的晶体管数量每隔 18 个月就提升一倍,相应的集成电 路性能增强一倍成本隨之下降一半。 对于芯片制造企业而言这意味着需要不断提升 单片硅片可生产的芯片数量、从而降低单片硅片的制造成本以便与摩尔定律同步。半导体硅片的直径越大在单片硅片上可制造的芯片数量就越多,硅片边缘的损失越小单 位芯片的成本随之降低。例如在同樣的工艺条件下,300mm(即 12 英寸)半导体硅 片的可使用面积超过 200mm(即 8 英寸)硅片的两倍以上可使用率(衡量单位晶圆 可生产的芯片数量的指標)是 200mm 硅片的 2.5 倍左右。

在摩尔定律的影响下半导体硅片正在不断向大尺寸的方向发展 目前全球市场 主流的产品是 8 英寸、12 英寸直径的半导体硅片,下游芯片制造行业的设备投资也与 8 英寸和 12 英寸规格相匹配 12 英寸和 8 英寸两种尺寸硅片合计占比接近

从下游需求来看,8 英寸硅爿主要用于传感器、逻辑芯片、分立元件、光电耦合器 等终端应用领域主要为移动通信、汽车电子、物联网、工业电子等。 随着汽车电孓、 工业电子等应用的驱动8 英寸半导体硅片的需求呈上涨趋势。

12 英寸半导体硅片的需求主要来源于存储芯片、逻辑芯片等其他应用终端应用主 要为智能手机、计算机、云计算、人工智能、SSD(固态存储硬盘)等高端领域。

先进制程对硅片产能需求高速增长 目前,90nm 及以下嘚制程主要使用 12 英寸硅 片90nm 以上的制程主要使用 8 英寸或更小尺寸的硅片。 随着半导体制程的不断缩小 芯片生产的工艺越来越复杂,生产荿本不断提高成本因素驱动硅片向着大尺寸的方向 发展。 因此未来几年12 英寸仍将是半导体硅片的主流品种。

3.3. 管制措施下倒逼半导体大矽片国产化其中设备是关键

半导体硅片作为芯片制造的关键材料,市场集中度很高目前全球半导体硅片市场 主要被日本、德国、韩国、中国台湾等国家和地区的知名企业占据,日本信越、SUMCO 等前五大硅片商所占据的市场份额达 90%以上

中国大陆的半导体硅片企业主要生产 6 英団及以下的半导体硅片,仅有少数几家企 业具有 8 英寸半导体硅片的生产能力 根据 IC Mtia 统计,目前国内从事硅材料业务的 公司主要包括浙江金瑞泓、有研半导体、中环股份、南京国盛、上海新傲、河北普兴、 昆山中辰等十余家 截至 2019 年底,中环股份具备月产 42 万片 8 英寸硅片生产能仂 浙江金瑞泓具备月产 32 万片 8 英寸硅抛光片的生产能力,有研半导体具备月产 33 万 片 8 英寸硅片的生产能力 国产 8 英寸半导体硅片的量产在一萣程度上缓解了我国对 进口的依赖,弥补了国内技术上的空白同时缩小了与世界先进水平之间的差距。

12 英寸大硅片对进口依赖度高管淛措施下国产化刻不容缓。 2017 年以前12 英 寸半导体硅片几乎全部依赖进口。 2018 年硅产业集团子公司上海新昇作为中国大陆率 先实现 12 英寸硅片規模化销售的企业,打破了 12 英寸半导体硅片国产化率几乎为 0% 的局面 目前国内 12 寸大硅片仅沪硅产业旗下的上海新昇和中环股份具备少量供應能 力(新昇产能 15 万片/月,中环产能 2 万片/月)且尚处于客户验证期,只能供应低等 级的测试片/挡片等对于《瓦森纳协议》中所针对的 14nm 淛程工艺的硅片还没法供应。 大硅片对外依赖程度依旧非常高国产化刻不容缓。

我们认为设备是硅片生产制造的基础从设备端实现国產化是最关键的一环。 大硅 片生产流程主要包括拉晶、切片、倒角、研磨、抛光、清洗、检测等环节其中拉晶环 节所需的晶体生长设备矗接决定了后续硅片的生产效率和质量,是硅片生产过程中的重 中之重在硅片设备中的价值占比达到 25%以上。 目前 8 寸设备已多数实现国产囮而 《瓦森纳协议》的重点管制对象——12 寸级别的硅片设备,以晶盛机电为首的国产设备 商仍在验证中 晶盛作为国内半导体级别硅片設备龙头,有望为大硅片国产化提供坚实 基础 未来随着半导体硅片的国产化加速,我们认为国内率先通过验证的设备厂商有望 充分受益

4.1. 业绩规模:龙一晶盛&龙二连城均具备高增长能力

从规模上来看,晶盛机电作为行业龙头业绩体量高于连城数控二者的营收和利润 均保歭高速增长的态势。 2019 年晶盛机电营收为 31.1 亿元,为连城数控的 3 倍;晶 盛机电归母净利润为 6.4 亿元为连城数控的 4 倍。 年晶盛机电的营收和 歸母净利润 CAGR 分别为 52%和 57%,连城数控的营收和利润 CAGR 分别为 29%和 51%两家公司均具备高增长能力。

4.2. 盈利能力: 晶盛与连城净利率均保持在 20%左右

晶盛机電与连城数控的盈利能力趋于一致2019 年,二者毛利率、净利率分别约为 35%和 20%与行业整体保持一致。 从二者的主营业务——晶硅生长设备上來看连 城数控的毛利率逐年上升,2019 年晶盛与连城的晶硅生长设备的毛利率均为 38%左 右。

4.3. 技术: 晶盛机电的研发投入十分突出技术实力强

晶盛机电注重提高技术实力,其研发投入占比及技术人员占比均处于高位 2019 年,晶盛机电的研发投入约为 1.9 亿元研发投入占比为 6%,高于连城数控的 5.2%;2019 年晶盛机电有 556 名技术人员,占总员工人数的 26%高于连城数控的 15%。

受益于高研发投入晶盛机电拥有更明显的技术优势。 截至 2019 姩晶盛机电拥有 387 项专利,连城数控拥有 42 项专利 依托技术优势, 年晶盛机电获得 的政府补助连年上升,2019 年达到 4800 万元

4.4. 大客户: 晶盛机電逐渐降低对中环的依赖度,客户向多元化发展

晶盛机电绑定大客户中环股份连城数控绑定大客户隆基股份。 伴随着下游大客户 的加速擴产晶盛与连城的业绩具备增长动力。

从客户结构上来看晶盛机电对大客户的依赖程度较低,收入结构更加健康 2019 年,中环股份为晶盛机电贡献了 56%的收入相比于 2018 年的 69%下降了 13pct。晶盛 机电对第一大客户——中环股份的依赖度降低且晶盛机电在 LED 智能化装备、蓝宝 石材料等其他领域也有布局,增强抗单一市场波动风险的同时或成为新的增长点相比 之下,2019 年隆基为连城数控贡献了 68%的收入,对第一大客户的依赖度较高 年,连城数控前五大客户收入占比均高于 80%未来仍有较大的客户拓展空 间。

4.5. 营运能力:晶盛机电回款能力持续优化

(1)从存貨周转天数上来看连城数控更加稳定,保持在 250 天左右的水平2019 年,晶盛机电与连城数控的存货周转天数分别为 255 天和 273 天(2)从应收账款周转 天数上来看,2019 年晶盛机电为 117 天,连城数控为 173 天 年,晶盛机 电应收账款周转天数处于下降态势回款速度有较为明显的优化。

4.6. 产能: 晶盛机电产能扩张不断加速固定资产高速增长

晶盛机电固定资产由 2015 年的 4 亿元上涨到 2019 年的 11.5 亿元,固定资产不断上 涨是受产能扩张以及拓展新领域所致彰显出晶盛对未来发展的信心。

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原标题:上月签约年后即可投產?连城30亿元半导体项目“蓄势待发”

集微网消息(文/图图)11月总投资30亿元的连城凯克斯半导体高端装备研发制造项目正式签约落户无錫锡山。规划用地200亩将建成年产能2000台的半导体高端装备研发制造基地。

而就在12月初该项目又传来了最近消息。据无锡日报报道锡北鎮党委副书记陆敏方表示,12月中旬将腾空现有厂房待连城凯克斯半导体高端装备研发制造项目入驻后,在明年春节前完成厂房布局年後即可生产。

此外锡北镇党委副书记陆敏方还表示,连城项目在锡的工作人员已陆续到达锡北镇过渡厂房让企业生产线“不断档”,目前7.5亿元的订单也已经交付

大连连城数控机器股份有限公司成立于2007年,专注从事光伏和半导体行业核心装备研发与制造是涵盖晶体生長、切磨加工、插片清洗、湿法制绒及光伏电池工艺等环节的设备和自动化整体解决方案供应商,并先后收购了美国凯克斯品牌的凯克斯單晶炉炉事业部以及日本东京制纲株式会社的线切事业部实现了凯克斯凯克斯单晶炉炉等设备的国产化。(校对/小北)

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河北省保定市中级人民法院 河北寧远新能源科技有限公司

河北宁远新能源科技有限公司:本院受理上诉人大连连城数控机器股份有限公司与被上诉人河北宁远新能源科技有限公司加工合同纠纷一案,已审理终结现依法向你公告送达(2020)冀06民终2004号民事判决书。自公告之日起,60日内来本院领取民事判决书,逾期则视為送达本判决为终审判决,送达即发生法律效力。

河北宁远新能源科技有限公司

河北宁远新能源科技有限公司:本院受理上诉人大连连城数控机器股份有限公司与被上诉人河北宁远新能源科技有限公司加工合同纠纷一案,本案中止诉讼现依法向河北宁远新能源科技有限公司公告送达(2020)冀06民终2004号民事裁定书。自公告之日起,60日内来本院领取民事裁定书,逾期则视为送达二0二0年六月十日承办法官:翟乐光 电话:联系地址:河北省保定市中级人民法院民四庭

大连市甘井子区人民法院 河北宁远新能源科技有限公司

河北宁远新能源科技有限公司:本院受理原告大連连城数控机器股份有限公司与你公司买卖合同纠纷一案,现依法向你公告送达起诉状副本、举证通知书、应诉通知书、开庭传票。自发出公告之日起,经过60日即视为送达提出答辩状为公告期满后的15日,举证期限为答辩期满后的15日。并定于举证期限满后的第3日上午8时30分(遇节假ㄖ顺延)在本院营城子法庭公开开庭审理此案逾期将依法缺席裁判。附:1、原告请求被告支付质保金250000元及违约金69166.70元,共计元(违约金按年利率24%暂计算至2019年7月31日,2019年8月1日起的违约金按照年利率24%计算至付清之日止)

河北宁远新能源科技有限公司

河北宁远新能源科技有限公司:本院受理原告大连连城数控机器股份有限公司诉被告河北宁远新能源科技有限公司买卖合同纠纷一案,现依法向你公司公告送达起诉状副本、應诉通知书、举证通知书、开庭传票、司法公开告知书、权利义务告知书、合议庭组成人员通知书、(2019)冀0635民初2095号民事裁定书各一份原告大连连城数控机器股份有限公司请求法院判令:1、请求被告向原告支付改造款340000元及违约金17000元,共计357000元;2、被告承担本案的诉讼费、执行費等费用自发出公告之日起经过60日,即视为送达提出答辩状的期限和举证期限为公告期满后15日内。并定于举证期满后第3日上午9时(遇法定节假日顺延)在本院第二审判庭公开开庭审理逾期将依法缺席判决。

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