Ntegra Solaris多功能扫描探针显微镜（SPM）-原子仂显微镜（AFM）平台

在大气环境下：扫描隧道显微镜/原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能

在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:

测量头部：AFM和SPM可選配液相模式和纳米压痕测量头

扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描

最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm针尖扫描：样品无限制

XY樣品定位装置：移动范围5×5μm，精度5μm

扫描范围：90×90×9μm（带传感器/闭环控制）可选配低电压模式实现原子级分辨

XY方向非线性度：≤0.5%（帶传感器/闭环控制）

Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）

光学显微系统：配备高数值孔径物镜后分辨率可甴3μm提升至1μm。

（1）金属探针温度计纳米结构的电学性质表征：利用KPFM研究金属探针温度计纳米结构器件中金属探针温度计纳米结构与基底間的电荷转移机制

（2）半导体纳米结构电学性质表征：使用KPFM可以表征半导体表面作用力分布、表面缺陷、相态以及原子组成

（3）生物领域：利用KPFM探测细胞膜、核酸和蛋白质之间的作用关系及各自的电学性质。

（4）太阳能电池领域：通过KPFM测量太阳能电池材料（如钙钛矿）的功函数可以分析影响光电转换效率的因素，以便进一步提高光电转换效率

钙钛矿薄膜的CAFM测试[3]

[1] 武兴盛, 魏久焱, 常诞, et al. 开尔文探针力显微镜的應用研究现状[J]. 微纳电子技术, ).