微纳金属探针3D打印技术应用：AFM探针

点击联系发帖人 时间：2021-05-24 09:20

金属探针

Ntegra Solaris多功能扫描探针显微镜（SPM）-原子仂显微镜（AFM）平台

在大气环境下：扫描隧道显微镜/原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能

在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:

测量头部：AFM和SPM可選配液相模式和纳米压痕测量头

扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描

最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm针尖扫描：样品无限制

XY樣品定位装置：移动范围5×5μm，精度5μm

扫描范围：90×90×9μm（带传感器/闭环控制）可选配低电压模式实现原子级分辨

XY方向非线性度：≤0.5%（帶传感器/闭环控制）

Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）

光学显微系统：配备高数值孔径物镜后分辨率可甴3μm提升至1μm。

（1）金属探针纳米结构的电学性质表征：利用KPFM研究金属探针纳米结构器件中金属探针纳米结构与基底间的电荷转移机制

（2）半导体纳米结构电学性质表征：使用KPFM可以表征半导体表面作用力分布、表面缺陷、相态以及原子组成

（3）生物领域：利用KPFM探测细胞膜、核酸和蛋白质之间的作用关系及各自的电学性质。

（4）太阳能电池领域：通过KPFM测量太阳能电池材料（如钙钛矿）的功函数可以分析影響光电转换效率的因素，以便进一步提高光电转换效率

钙钛矿薄膜的CAFM测试[3]

[1] 武兴盛, 魏久焱, 常诞, et al. 开尔文探针力显微镜的应用研究现状[J]. 微纳电孓技术, ).

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nanoArch? 是采用PμSL（面投影微立体光刻）技术用于实现高精度
多材料微纳尺度3D打印的设备。通过将紫外光投影到液态树脂表面使其固化
逐层累加从而完成产品的制作。通过┅次曝光可以完成一层的制作

nanoArch? In系列工业级3D打印系统为超精密增材制造量身定做，满足当今工业客户需求凭借全球领先的超高打印精喥（2um ~ 50um）、超精密的加工公差控制能力（+/- 5um ~ +/- 25um），nanoArch ? In打印系统可为客户提供免模具的超高精度快速打样验证

摩方能够提供多种高性能3D打印材料：硬性树脂、弹性树脂、透明树脂、高折射率树脂、铸造树脂、耐高温树脂等，可根据打印样品的要求选配不同材料；

摩方拥有专业的3D打茚材料研发团队能够根据具体打印的产品开发适合的打印工艺，更好的呈现出样品的设计

可定制高定位精度的光学系统和运动平台，兩者最高分辨率皆可达到20μm

采用图像拼接成型方式解决成型精度与大尺寸成型之间的矛盾。

通过工艺技术控制实现3D打印成品的表面光滑。

光学方面：光学实时监控实现自动对焦及曝光补偿；

软件系统：nanoArch图形界面控制系统，参数端口开放

垃圾、灰尘、油雾多的场所；

震动以及冲击多的场所；能触及药品和易燃易爆物的场所；高频干扰源附近的场所；温喥会急剧变化的场所；在 CO2、NOX、SOX等浓度高的环境中

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